三清儀器SKCOL-2 百級無塵烤箱完全適用于 12 寸晶圓 cassette，無需額外改裝或配件。

SKCOL-2 核心規(guī)格：

工作室尺寸：600(W)×500(D)×600(H) mm

潔凈等級：Class 100 (百級無塵)

溫度范圍：RT+20℃至 300℃

溫度均勻性：200℃時 ±3℃，300℃時 ±4℃

加熱功率：7.5 kW

內腔材質：304 不銹鋼

12 寸晶圓 cassette 標準尺寸：

長 × 寬：約 400×400 mm

高度：約 180-190 mm

容量：通常 13-25 片 12 寸晶圓 (300mm)

功能與應用適配性

半導體工藝要求：

極高潔凈度：百級無塵環(huán)境 (每立方米 0.5μm 顆粒 < 3520 個)，防止晶圓污染

精確溫控：PID 智能控制，溫度波動僅 ±0.5℃，確保工藝一致性

均勻熱場：熱風循環(huán)系統(tǒng)，溫度均勻性 ±3℃(200℃時)，避免晶圓熱應力變形

材質要求：304 不銹鋼內腔，不產(chǎn)塵、耐腐蝕，適合長期高溫使用

12 寸晶圓 cassette 特性：

專為 300mm 晶圓設計，耐高溫 (一般可達 120℃以上)

標準 13 槽 / 25 槽設計，可穩(wěn)定承載晶圓

材質通常為 PEEK、PC ESD 或金屬，滿足潔凈室要求

使用操作建議

直接放置：將 12 寸 cassette 平穩(wěn)置于烤箱內腔，確保不傾倒

溫度設置：根據(jù)工藝需求在 RT+20℃~300℃范圍內設定 (通常晶圓烘烤在 60-250℃)

時間控制：依據(jù)具體工藝要求設置烘烤時間

特殊需求：可選擇充氮功能 (如有)，進一步降低氧含量，保護敏感工藝

優(yōu)勢總結

空間充足：可同時容納多個 12 寸 cassette，提高生產(chǎn)效率

潔凈保障：百級無塵環(huán)境確保晶圓在烘烤過程中不受污染，適合先進制程

溫度精準：波動小、均勻性高，防止晶圓因熱應力變形或工藝不均

兼容性強：標準設計，無需定制配件，可直接使用市場上通用的 12 寸晶圓 cassette

注意事項

使用前確認 cassette 材質耐高溫范圍，不超過烤箱最高溫度 (300℃)

確保 cassette 放置穩(wěn)固，避免烘烤過程中傾倒損壞晶圓

定期清潔烤箱內腔和過濾器，維持百級潔凈度

結論：SKCOL-2 百級無塵烤箱憑借其寬敞內腔 (600×500×600mm)、百級潔凈環(huán)境和精準溫控系統(tǒng)，完全適配標準 12 寸晶圓 cassette，是半導體、顯示面板等行業(yè)晶圓烘烤工藝的理想選擇。