保持潔凈環(huán)境

無塵環(huán)境：氮氣柜能夠提供一個無塵的環(huán)境，防止空氣中的微粒和污染物對晶圓造成污染。這對于保證晶圓的純凈度和質(zhì)量至關(guān)重要。

高效過濾：潔凈氮氣柜通常配備高效過濾器（如HEPA過濾系統(tǒng)），以確保柜內(nèi)空氣的潔凈度達到ISO Class 5或更高。

防靜電措施

防靜電保護：晶圓芯片對靜電敏感，氮氣柜采取了一系列防靜電措施，如設(shè)立靜電地板、接地裝置和靜電屏蔽等。這些措施可以有效防止靜電對晶圓芯片造成損害。

提高存儲壽命

延長使用壽命：在低氧、低濕度、低污染的環(huán)境下，晶圓的氧化和腐蝕速度會減緩，從而延長其使用壽命。

減少壓電效應(yīng)：高濃度的氮氣可以減少壓電效應(yīng)的發(fā)生，從而穩(wěn)定芯片的性能。

穩(wěn)定存儲環(huán)境

溫度控制：雖然部分氮氣柜不直接調(diào)節(jié)溫度，但環(huán)境溫度應(yīng)保持在22±2℃，相對濕度40%-60%，以確保晶圓品質(zhì)。

均勻供氣：氮氣柜通過多點供氣系統(tǒng)，確保柜內(nèi)氮氣分布均勻，避免死點死角。

智能化與節(jié)能環(huán)保

智能控制系統(tǒng)：配備微電腦智能控制系統(tǒng)，可設(shè)定濕度、自動切斷氮氣供應(yīng)，節(jié)約氮氣。

節(jié)能環(huán)保：氮氣消耗量降低40%，新型分子篩材料的使用壽命延長至5年以上。

定制化與安全性

定制化服務(wù)：根據(jù)存儲物品的尺寸和數(shù)量，選擇可定制隔板設(shè)計和尺寸的氮氣柜。

安全功能：具備氮氣泄漏報警、超壓保護、緊急停機等功能。

通過以上措施，氮氣柜能夠有效地保護晶圓免受氧化、潮氣、污染和靜電等不利因素的影響，從而確保晶圓的質(zhì)量和可靠性。